萬級無塵車間的空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
2.萬級無塵車間層流式：　　
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：　
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。　　
萬級無塵車間優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。

萬級無塵車間地面設計應符合下列要求：
1  凈化車間地面滿足生產工藝要求。
2  萬級凈化車間地面應平整，耐磨、易清洗，不易積聚靜電，避免眩光，不開裂等。
3  地面墊層宜配筋，潮濕地區墊層應做防潮構造。

潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚表面宜平整、光滑，位于地下的技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。